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              氣體原料制出1立方厘米級單晶金剛石

              關鍵詞 CVD , 單晶金剛石|2019-04-04 09:06:03
              摘要 日本產業技術綜合研究所采用微波等離子體CVD(化學氣相沉積)法,首次利用氣體制作出體積1立方厘米級的無裂紋單晶金剛石。此次采用容易擴大合成面積的氣體為原料,制作出全球最大級的高品質...

              日本產業技術綜合研究所采用微波等離子體CVD(化學氣相沉積)法,首次利用氣體制作出體積1立方厘米級的無裂紋單晶金剛石。此次采用容易擴大合成面積的氣體為原料,制作出全球最大級的高品質晶體,這一成果是向實現大型晶圓邁出的重要一步。

              功率半導體廣泛應用于電力基礎設施、汽車、鐵路車輛、工業設備及家電等各種產品和設備,是支撐這些產品和設備實現高性能化及節能化的重要器件。此次的成果不僅能應用于功率半導體等電子領域,預計還可應用于自旋電子領域。金剛石能在室溫和常壓下處理空間分辨率較高的量子信息等,因此有望進一步提高傳感器和量子計算設備等的性能。


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